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薄膜压力传感器

F1012微流量传感器

产品详情

F1012微流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量监测,具有很好的精度与重复性。F1012微流量传感器内置有温度传感器,每只都进行专有的温度补偿校准;同时具有线性模拟电压输出,方便使用

传感器特点

新一代MEMS传感器芯片技术;

精度高,响应速度快,重复性好;

可精准测量极小流量;

经过完全校准和温度补偿;

主要应用

工业过程控制

空气和环境保护

便携式仪器

技术指标

产品型号 F1012
量程① 50、100、200、500、1000、1200、2000sccm②
  最小 典型值 最大 单位
满量程输出 4.90 5.00 5.10 V
零流量输出 0.96 1.00 1.04 V
输出阻抗 - 200 - Ω
工作电压 7.0 10.0 14.0 V
工作电流 15 25 30 MA
精度 - ±1.5 ±2.5 %F.S
重复性 - ±0.3 ±0.5 %F.S
年漂移③ - ±0.1 ±0.5 %F.S
耐压 - - 200 kPa
反应时间 45 50 55 ms
工作温度④ -25 - 65
储存温度 -40 - 90

注:

①可提供50-2000sccm之间任意量程。

②sccm:standard-state cubic centimeter per minute,意义为标况毫升每分钟,标况规定为:气体温度0℃ ;气压101.325 kPa;

③测试条件为室温、清洁空气。

④温度补偿实校范围为0℃-50℃,超过此范围温度补偿效果不能保证。

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